测量触针组件

摘要

按照本发明，为检测表面特征的测量仪器提供了一种触针组件，其中的触针有一个与表面相接触的尖，并且被安装成绕枢轴转动的形式，触针受到偏置，在针尖没有绕枢轴转动时用一个力(静态力)把针尖压在表面上，这样，静态力乘以枢轴和针尖之间触针长度的平方再除以触针转动惯量所获得的数值大于1.5g，其中的g是重力加速度。这一数值至少应该达到5g，达到10g时较好，最好是达到20g。为了简化对触针绕枢轴转动规律的分析，忽略了阻尼和共振等等因素，这一数值提供了针尖在静态触针力作用下的加速度数量。

主权项

1.用于一种测量仪器的触针组件，测量仪器通过在表面上移动触针的尖来测量表面特征，触针组件包括可绕着一个枢轴转动并且带有触针尖的一个触针臂，或是包括一个可以朝向或是离开表面大体上做直线运动并且带有触针尖的触针，在触针尖没有运动时用一个预定的力把触针尖压在被测表面上，使触针尖的理论加速度或是触针尖的近似的理论加速度大于1.5g，其中的g是自由落体的重力造成的加速度，并且：在触针臂绕枢轴转动的情况下，触针尖的理论加速度是由预定量的力乘以枢轴到针尖的触针臂长度的平方再除以触针臂的转动惯量所限定的数值；在触针大体上做直线运动的情况下，触针尖的理论加速度是由预定的力除以触针质量所限定的数值；并且触针尖近似的理论加速度(仅用于触针臂绕枢轴转动的情况下)是由预定量的力的三倍除以触针臂质量(忽略从枢轴到针尖的半路上小于十分之一范围内的任何质量)所限定的数值。