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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR VACUUM PROCESS
摘要
申请公布号 JPH09219377(A) 申请公布日期 1997.08.19
申请号 JP19960025107 申请日期 1996.02.13
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUGAWARA TOSHIAKI
分类号 C30B31/22;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 C30B31/22
代理机构 代理人
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