| 发明名称 |
CANTILEVER SCANNING PROBE MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09218211(A) |
申请公布日期 |
1997.08.19 |
| 申请号 |
JP19960051019 |
申请日期 |
1996.02.13 |
| 申请人 |
HORIBA LTD |
发明人 |
HERUMAN RUDORUFU;ISHIDA KOZO;KISHIMOTO TOSHIHIKO;TOMITA KATSUHIKO |
| 分类号 |
G01B21/30;G01N37/00;G01Q20/02;G01Q20/04;G01Q60/38;G01Q70/06;H01L21/66;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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