| 发明名称 |
METHOD OF RESTORING ELECTRIC CHARACTERISTICS OF SEMICONDUCTOR STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52132680(A) |
申请公布日期 |
1977.11.07 |
| 申请号 |
JP19770036269 |
申请日期 |
1977.04.01 |
| 申请人 |
IBM |
发明人 |
TSUO PIN MAA;UIRIAMU SHIO RIEN MAA |
| 分类号 |
H01L21/324;H01L21/265;H01L21/326;H01L21/336;H01L21/8247;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 |
主分类号 |
H01L21/324 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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