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发明名称 PURAZUMASHORISOCHI
摘要
申请公布号 JP2641450(B2) 申请公布日期 1997.08.13
申请号 JP19870128156 申请日期 1987.05.27
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 SASAKI ICHIRO;OOTSUBO TOORU
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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