| 发明名称 |
BEAMSPLITTER IN SINGLE FOLD OPTICAL SYSTEM AND OPTICAL VARIABLE MAGNIFICATION METHOD AND SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0788612(A1) |
申请公布日期 |
1997.08.13 |
| 申请号 |
EP19950940536 |
申请日期 |
1995.10.19 |
| 申请人 |
ULTRATECH STEPPER INC. |
发明人 |
MARKLE, DAVID, A.;JEONG, HWAN, J. |
| 分类号 |
G02B13/24;G02B13/22;G02B13/26;G02B15/00;G02B15/14;G02B17/08;G02B26/08;G02B27/18;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B15/14;G02B17/00;G02B27/02;G02B7/02;G03B27/52;G03B27/54;G03B21/14;G03B3/00 |
主分类号 |
G02B13/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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