发明名称 |
Method of fabricating modulator integrated semiconductor laser device |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2281441(B) |
申请公布日期 |
1997.08.13 |
申请号 |
GB19940016776 |
申请日期 |
1994.08.18 |
申请人 |
* MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
TADASHI * KIMURA;YUTAKA * MIHASHI;KATUHIKO * GOTOH;TAKUSHI * ITAGAKI |
分类号 |
H01L27/15;H01S5/00;H01S5/026;H01S5/10;H01S5/20;(IPC1-7):H01S3/025;H01L33/00 |
主分类号 |
H01L27/15 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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