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发明名称 HANDOTAICHETSUKAAYOPUROOBU
摘要
申请公布号 JP2639545(B2) 申请公布日期 1997.08.13
申请号 JP19880002721 申请日期 1988.01.09
申请人 FUJIKOSHI KIKAI KOGYO KK;NAGANO KEIKI SEISAKUSHO KK 发明人 FURUKAWA MASANORI;GOTO KOZO
分类号 G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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