| 发明名称 |
VACUUM VAPOR DEPOSITION APPARATUS AND PRODUCTION OF ORGANIC ELECTROLUMINESCENCE ELEMENT BY USING THIS VACUUM VAPOR DEPOSITION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09209127(A) |
申请公布日期 |
1997.08.12 |
| 申请号 |
JP19960018794 |
申请日期 |
1996.02.05 |
| 申请人 |
IDEMITSU KOSAN CO LTD |
发明人 |
FUKUOKA KENICHI;SHOJI HIROSHI |
| 分类号 |
C23C14/24;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/285;H01L51/50;H01L51/56;H05B33/10;H05B33/12;H05B33/14;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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