| 发明名称 |
CHARGING OF RAW MATERIAL IN SINGLE CRYSTAL PULLING UP DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09208366(A) |
申请公布日期 |
1997.08.12 |
| 申请号 |
JP19960020258 |
申请日期 |
1996.02.06 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP;MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
ATAMI TAKASHI;TAGUCHI HIROAKI;FURUYA HISASHI;KIDA MICHIO |
| 分类号 |
C30B15/02;C30B15/12;C30B15/26;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/02 |
主分类号 |
C30B15/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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