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发明名称 SANKABUTSUCHODENDOTAIKETSUSHONOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2637123(B2) 申请公布日期 1997.08.06
申请号 JP19870304632 申请日期 1987.12.03
申请人 TOSHIBA KK 发明人 FUKUDA KATSUYOSHI
分类号 H01L39/24;C30B17/00;C30B29/22;H01B13/00;(IPC1-7):C30B29/22 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
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