| 发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09205213(A) |
申请公布日期 |
1997.08.05 |
| 申请号 |
JP19960032872 |
申请日期 |
1996.01.26 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI;OTANI HISASHI;MIYANAGA SHOJI;TERAMOTO SATOSHI |
| 分类号 |
H01L29/786;H01L21/20;H01L21/322;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/786 |
主分类号 |
H01L29/786 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
