| 发明名称 |
SPUTTERING DEVICE AND FORMATION OF DEPOSITED FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09202968(A) |
申请公布日期 |
1997.08.05 |
| 申请号 |
JP19960011701 |
申请日期 |
1996.01.26 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
ANDO KENJI;SUZUKI YASUYUKI;HIROO RIYUUJI |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/54;H01L21/203;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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