| 摘要 |
Es wird eine Vorrichtung und ein Verfahren bereitgestellt, mit der bzw. mit dem zwei einander gegenüberliegende ebene Oberflächen eines Körpers gleichzeitig mit dem Licht aus einer Strahlungsquelle interferometrisch vermessen werden können. Aus einem über eine Strahlungsquelle (1) erzeugten parallelen Lichtstrahlbündel (P) werden über einen Strahlteiler (8) in Form eines Beugungsgitters Teilstrahlenbündel (A, B) mit positiven und negativen Beugungswinkeln erzeugt, welche jeweils auf die zu vermessenden Oberflächen (90, 91) des Körpers (9) auftreffen und dort reflektiert werden. Die reflektierten Teilstrahlenbündel (A, B) werden mit dem durchgehenden Teilstrahlbündel (P) der nullten Beugungsordnung zur Interferenz gebracht und die so erzeugten Interferenzbilder digitalisiert und voneinander subtrahiert, wodurch die Parallelität der beiden Flächen (90, 91) des Körpers festgestellt werden kann.
|
