发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR CONTROL OF SCALE IN COORDINATE MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH09196653(A) 申请公布日期 1997.07.31
申请号 JP19960028650 申请日期 1996.01.23
申请人 NIKON CORP 发明人 FUJITA YOSHIHISA
分类号 G01B21/02;(IPC1-7):G01B21/02 主分类号 G01B21/02
代理机构 代理人
主权项
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