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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09199586(A) 申请公布日期 1997.07.31
申请号 JP19960003900 申请日期 1996.01.12
申请人 SONY CORP 发明人 KURIHARA HISAAKI
分类号 C23C16/52;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/306;H01L21/320 主分类号 C23C16/52
代理机构 代理人
主权项
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