| 发明名称 |
QUALITY INSPECTION METHOD OF SILICON WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09199562(A) |
申请公布日期 |
1997.07.31 |
| 申请号 |
JP19960025911 |
申请日期 |
1996.01.19 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
IKEMATSU YOICHI;DEAI HIROYUKI;IWASAKI TOSHIO;KAWAKAMI KAZUTO |
| 分类号 |
G06M11/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G06M11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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