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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH09199514(A) 申请公布日期 1997.07.31
申请号 JP19960006071 申请日期 1996.01.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NIHEI TAMAHISA
分类号 H01L29/872;H01L21/338;H01L29/47;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/872
代理机构 代理人
主权项
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