发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09199525(A) 申请公布日期 1997.07.31
申请号 JP19960028444 申请日期 1996.01.22
申请人 MITSUI HIGH TEC INC 发明人 MIMURA SHINYA
分类号 H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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