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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS FABRICATION
摘要
申请公布号
JPH09199718(A)
申请公布日期
1997.07.31
申请号
JP19960005955
申请日期
1996.01.17
申请人
HITACHI LTD
发明人
YASUOKA HIDEKI
分类号
H01L29/78;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/06;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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