发明名称 Plasma generating method and plasma generating apparatus using said method
摘要
申请公布号 EP0563899(B1) 申请公布日期 1997.07.30
申请号 EP19930105279 申请日期 1993.03.30
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 HARAFUJI, KENJI;OHKUNI, MITSUHIRO;TAMAKI, TOKUHIKO;KUBOTA, MASAFUMI;NOMURA, NOBORU
分类号 H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/18 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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