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发明名称 HANDOTAISOCHINOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2636753(B2) 申请公布日期 1997.07.30
申请号 JP19940247979 申请日期 1994.10.13
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 OGAWA TOSHIHIRO
分类号 H01L21/3205;H01L21/314;H01L21/316;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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