发明名称 KAITENTOFUSOCHI
摘要
申请公布号 JP2634853(B2) 申请公布日期 1997.07.30
申请号 JP19880113192 申请日期 1988.05.09
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 YAMADA MAMORU
分类号 B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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