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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR MICROACTUATOR
摘要
申请公布号
EP0478716(B1)
申请公布日期
1997.07.30
申请号
EP19900917875
申请日期
1990.06.21
申请人
IC SENSORS
发明人
JERMAN, JOHN, HALLOCK
分类号
F03G7/06;B81B3/00;F15C5/00;F16K99/00;G01B9/02;G02B26/00;(IPC1-7):F16K31/04
主分类号
F03G7/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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