| 摘要 |
<p>Ein Verfahren und eine Vorrichtung zur thermischen Prozessteuerung bei der elektrolytischen Beschichtung von Werkzeugen für die Herstellung von CD/LD-Datenträgern oder dgl. sehen vor, dass die Temperatur einer Elektrolytflüssigkeit in einer Abscheidungskammer (1), insbesondere in deren Kathodenraum (11) auf einem Niveau nahe einer bestimmten Temperatur gehalten wird, indem entweder der Durchsatz an temperierter Elektrolytflüssigkeit durch die Abscheidungskammer und/oder die Temperatur der Elektrolytflüssigkeit in einem Vorratsbehälter (12) ausserhalb der Abscheidungskammer (1) und/oder der elektrische, zwischen der Kathode (3) und der Anode (2) fliessende Strom in Abhängigkeit von der mittels eines nahe bei oder im Kathodenraum nahe einer Elektrolyteinspritzdüse (14) angeordneten Temperaturfühlers (23) gemessenen Temperatur gesteuert werden. Der Temperaturfühler (23) und die Einspritzdüse (14) stellen vorzugsweise eine Baueinheit dar. Der Abscheidungsprozess kann damit nahe bei einer maximal zulässigen Temperatur für die Elektrolytflüssigkeit ablaufen, so dass mit entsprechend maximierten Stromstärken und minimaler Behandlungsdauer gearbeitet werden kann. <IMAGE></p> |
