| 发明名称 |
FORMATION OF HIGH-FUNCTION THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09195046(A) |
申请公布日期 |
1997.07.29 |
| 申请号 |
JP19970006987 |
申请日期 |
1997.01.17 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
HIRANO HITOSHI;DOMOTO YOICHI;KIYAMA SEIICHI |
| 分类号 |
C23C14/48;(IPC1-7):C23C14/48 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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