| 发明名称 |
PRODUCTION OF ALUMINUM NITRIDE AND LIGHT EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09194204(A) |
申请公布日期 |
1997.07.29 |
| 申请号 |
JP19960089215 |
申请日期 |
1996.04.11 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KIDOGUCHI ISAO;ADACHI HIDETO;TANAKA KIYOTAKE;KUMABUCHI YASUHITO |
| 分类号 |
C01B21/072;H01L21/318;H01S5/00;(IPC1-7):C01B21/072;H01S3/18 |
主分类号 |
C01B21/072 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
