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发明名称 A cryopump
摘要
申请公布号 EP0506133(B1) 申请公布日期 1997.07.23
申请号 EP19920105442 申请日期 1992.03.30
申请人 DAIKIN INDUSTRIES, LIMITED 发明人 YAGI, NOBUAKI;MIURA, KAZUO;AIHARA, HIROSHI
分类号 F04B37/08;F25B9/14;F25D19/00;(IPC1-7):F04B37/08 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
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