发明名称 Interferometric device for environmetal and frequency-independent length measurement
摘要
申请公布号 EP0707191(A3) 申请公布日期 1997.07.23
申请号 EP19950114602 申请日期 1995.09.16
申请人 JENOPTIK TECHNOLOGIE GMBH 发明人 ROTHHARDT, MANFRED;SEIDE, WOLFGANG
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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