| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE, ITS PRODUCTION AND SURFACE PROTECTIVE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09189997(A) |
申请公布日期 |
1997.07.22 |
| 申请号 |
JP19960002514 |
申请日期 |
1996.01.10 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TANAKA JUN;YOSHIKAWA HARUHIKO;ISODA KEIKO;TAKEMOTO KAZUNARI;KATAOKA FUMIO |
| 分类号 |
G03F7/027;C08G73/10;C08L79/04;C08L79/08;G03F7/038;H01L21/312;(IPC1-7):G03F7/027 |
主分类号 |
G03F7/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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