发明名称 METHOD AND DEVICE FOR RECOGNIZING SHAPE BY UTILIZING IMAGE OBTAINED BY IRRADIATING SHAPE RECOGNITION OBJECT WITH SHAPE ILLUMINATION
摘要
申请公布号 JPH09189529(A) 申请公布日期 1997.07.22
申请号 JP19960003183 申请日期 1996.01.11
申请人 PFU LTD 发明人 SASANO TOSHIO;SASAKI KATSUNAO;MIYASAKA KAZUMI;KITAZAKI KINJI;NAKATANI KOKICHI;KOYANAGI KEISUKE;OKADA HIROYUKI
分类号 G01B11/24;H01L21/52;H01L21/66;H05K3/34;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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