发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR RECOGNIZING SHAPE BY UTILIZING IMAGE OBTAINED BY IRRADIATING SHAPE RECOGNITION OBJECT WITH SHAPE ILLUMINATION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09189529(A) |
申请公布日期 |
1997.07.22 |
申请号 |
JP19960003183 |
申请日期 |
1996.01.11 |
申请人 |
PFU LTD |
发明人 |
SASANO TOSHIO;SASAKI KATSUNAO;MIYASAKA KAZUMI;KITAZAKI KINJI;NAKATANI KOKICHI;KOYANAGI KEISUKE;OKADA HIROYUKI |
分类号 |
G01B11/24;H01L21/52;H01L21/66;H05K3/34;(IPC1-7):G01B11/24 |
主分类号 |
G01B11/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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