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发明名称 Reaktive-Ion-Ätzung von Indium-Zinn-Oxid
摘要
申请公布号 DE69401518(T2) 申请公布日期 1997.07.17
申请号 DE19946001518T 申请日期 1994.01.18
申请人 PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN, NL 发明人 TSOU, LEN-YUAN, C/O INT. OCTROOIBUREAU B.V., NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 C01G19/00;C04B41/53;C04B41/91;C23F4/00;G02F1/1343;H01L21/302;H01L21/3065;H01L31/18;(IPC1-7):H01L31/18;C23F1/00 主分类号 C01G19/00
代理机构 代理人
主权项
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