发明名称 HANDOTAISHUSEKIKAIRONOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2630874(B2) 申请公布日期 1997.07.16
申请号 JP19910188859 申请日期 1991.07.29
申请人 SANYO DENKI KK 发明人 KANEKO SATOSHI;OOKODA TOSHUKI
分类号 H01L21/316;H01L21/318;H01L21/76;H01L21/822;H01L21/8249;H01L27/04;H01L27/06;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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