发明名称 FUUPUJOTANTAINITOKANKAKUDETANJISARETEHANSOSARERUBUTSUPINNOSOKUTEIOYOBIFURYOHINJOKYOSOCHI
摘要
申请公布号 JP2631917(B2) 申请公布日期 1997.07.16
申请号 JP19910064034 申请日期 1991.03.04
申请人 ROOMU KK 发明人 YAMAMOTO KAZUHIRO;MYAI SABURO;IEMOTO TAKAO;NISHIMURA MAKOTO
分类号 H01L21/66;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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