发明名称 |
PLASMA TREATMENT AND DEVICE THEREFOR |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH09184073(A) |
申请公布日期 |
1997.07.15 |
申请号 |
JP19960000983 |
申请日期 |
1996.01.08 |
申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
NAKAHIGASHI TAKAHIRO;KAWAKITA TAMOTSU |
分类号 |
C23C16/44;C08J7/00;C23C16/50;C23C16/515;C23C16/52;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/44 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|