发明名称 PLASMA TREATMENT AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH09184073(A) 申请公布日期 1997.07.15
申请号 JP19960000983 申请日期 1996.01.08
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 NAKAHIGASHI TAKAHIRO;KAWAKITA TAMOTSU
分类号 C23C16/44;C08J7/00;C23C16/50;C23C16/515;C23C16/52;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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