| 发明名称 |
PREFABRICATED ILLUMINATION APPARATUS IN PHOTOLITHOGRAPHY |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR970007070(Y1) |
申请公布日期 |
1997.07.15 |
| 申请号 |
KR19940005793U |
申请日期 |
1994.03.22 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRRONICS IND. CO.,LTD |
发明人 |
BAE, SANG-MAN |
| 分类号 |
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
