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发明名称 Anlage zur chemischen Naßbehandlung
摘要
申请公布号 DE19546990(C2) 申请公布日期 1997.07.03
申请号 DE19951046990 申请日期 1995.12.15
申请人 STEAG MICROTECH GMBH, 72124 PLIEZHAUSEN, DE 发明人 DURST, JOHANN, DIPL.-ING., 78166 DONAUESCHINGEN, DE;SCHULZ, WERNER, 78166 DONAUESCHINGEN, DE
分类号 H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):B65G49/04;B65G49/07;H01L21/30 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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