发明名称 Improvements in or relating to the etching of germanium and silicon
摘要
申请公布号 GB851482(A) 申请公布日期 1960.10.19
申请号 GB19570002434 申请日期 1957.01.23
申请人 PHILCO CORPORATION 发明人
分类号 C23F1/00;C23F1/24;H01L21/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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