| 发明名称 |
Method of producing stepped wall interconnects and gates |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0511837(B1) |
申请公布日期 |
1997.07.02 |
| 申请号 |
EP19920303840 |
申请日期 |
1992.04.29 |
| 申请人 |
SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC. |
发明人 |
HATA, WILLIAM Y. |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/41;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/60 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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