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发明名称
摘要
申请公布号	JP2625310(B2)	申请公布日期	1997.07.02
申请号	JP19920038844	申请日期	1992.01.07
申请人		发明人
分类号	C30B1/02;C30B11/00;H01L21/208;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/208;C30B29/06;H01L21/20	主分类号	C30B1/02
代理机构		代理人
主权项
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