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发明名称
CONTACT HOLE ELECTROMIGRATION TESTING DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号
JPH09172048(A)
申请公布日期
1997.06.30
申请号
JP19950328518
申请日期
1995.12.18
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
NISHIMURA KOICHI
分类号
G01R31/26;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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