发明名称 CONTACT HOLE ELECTROMIGRATION TESTING DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09172048(A) 申请公布日期 1997.06.30
申请号 JP19950328518 申请日期 1995.12.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 NISHIMURA KOICHI
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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