发明名称 |
HIGH-FREQUENCY ION SOURCE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09161704(A) |
申请公布日期 |
1997.06.20 |
申请号 |
JP19950338312 |
申请日期 |
1995.12.01 |
申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
ANDO YASUNORI;INAMI HIROSHI;MATSUDA YASUHIRO |
分类号 |
H01J27/16;H01J37/08;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/08 |
主分类号 |
H01J27/16 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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