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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE INCLUDING MICROMACHINE AND ELECTRONIC CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH09162462(A) 申请公布日期 1997.06.20
申请号 JP19950324164 申请日期 1995.12.13
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ETSUNO KEIJI
分类号 H01L21/302;B81C1/00;H01L21/3065;H01L49/00;(IPC1-7):H01L49/00;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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