| 发明名称 |
DRY ETCHING METHOD AND PRODUCTION OF MAGNETIC HEAD SLIDER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09161253(A) |
申请公布日期 |
1997.06.20 |
| 申请号 |
JP19950315487 |
申请日期 |
1995.12.04 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MIZUSHIMA AKIKO;TAKEMOTO KAZUNARI;SUZUKI SABURO |
| 分类号 |
G11B5/31;G11B5/60;G11B21/21;(IPC1-7):G11B5/60 |
主分类号 |
G11B5/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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