| 发明名称 |
CHEMICAL VAPOR GROWTH METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09157850(A) |
申请公布日期 |
1997.06.17 |
| 申请号 |
JP19950334297 |
申请日期 |
1995.11.30 |
| 申请人 |
NEC CORP;ANELVA CORP |
发明人 |
OKABAYASHI HIDEKAZU;SUGAI KAZUMI;KISHIDA SHUNJI;KOBAYASHI AKIKO |
| 分类号 |
C23C16/12;C23C16/14;C23C16/34;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):C23C16/12;H01L21/320 |
主分类号 |
C23C16/12 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
