发明名称 PREHEATER FOR CONTINUOUS VACUUM VAPOR DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH09157835(A) 申请公布日期 1997.06.17
申请号 JP19950311908 申请日期 1995.11.30
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD 发明人 SUGINO TOMOHIRO;MATSUI KUNIO;HIRATA ATSUSHI;NOMURA AKIHIRO;MATSUDA SHIKO
分类号 C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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