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发明名称 Vorrichtung zum Belichten eines kreisscheibenförmigen Substrates
摘要
申请公布号 DE19545857(A1) 申请公布日期 1997.06.12
申请号 DE19951045857 申请日期 1995.12.08
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 HANAU, DE 发明人 HENSEL, BERND, 65760 ESCHBORN, DE;HOFMANN, FRIEDRICH, 63654 BUEDINGEN, DE;KOOP, HERMANN, DR., 30952 RONNENBERG, DE;KAISER, PAUL, 81539 MUENCHEN, DE;SUESS, RALF, 81927 MUENCHEN, DE
分类号 G11B7/125;G11B7/135;(IPC1-7):G11B7/26;G02B27/09 主分类号 G11B7/125
代理机构 代理人
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