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发明名称 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF DIAMOND FILMS USING WATER-BASED PLASMA DISCHARGES
摘要
申请公布号 EP0611331(B1) 申请公布日期 1997.06.11
申请号 EP19920923128 申请日期 1992.11.05
申请人 RESEARCH TRIANGLE INSTITUTE 发明人 RUDDER, RONALD, A.;HUDSON, GEORGE, C.;HENDRY, ROBERT, C.;MARKUNAS, ROBERT, J.
分类号 C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/507;C23C16/511;C30B29/04;(IPC1-7):B05D3/06;H01J37/32;B05D5/12;C23C16/00 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
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