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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING X-RAY REFLECTION MIRROR OF MULTILAYER FILM
摘要
申请公布号 JPH09152500(A) 申请公布日期 1997.06.10
申请号 JP19950312276 申请日期 1995.11.30
申请人 NIKON CORP 发明人 OSHINO TETSUYA
分类号 G21K1/06;B32B7/02;(IPC1-7):G21K1/06 主分类号 G21K1/06
代理机构 代理人
主权项
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