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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR FORMING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH09153484(A) 申请公布日期 1997.06.10
申请号 JP19950334020 申请日期 1995.11.29
申请人 SONY CORP 发明人 SHIGYO SHOICHI
分类号 B01J3/00;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/306 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
主权项
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